干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員,。所謂干式真空泵,,在泵的抽氣流道中,不能使用任何油類(lèi)和液體,,雙級(jí)變頻真空泵好不---,,排氣口與---相通,能直接連續(xù)向---中排氣的泵,。干式真空泵在抽氣流道內(nèi)無(wú)任何液態(tài)工作介質(zhì)或密封介質(zhì),,從---上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問(wèn)題。雙級(jí)變頻真空泵干式螺桿真空泵由于其---的性能,,在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子,、半導(dǎo)體、制藥,、精密加工等行業(yè)真空獲得設(shè)備,。日本是應(yīng)用螺桿真空泵非常多的,半導(dǎo)體和lcd 行業(yè)應(yīng)用廣泛,,大晃株式會(huì)社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉(zhuǎn)子方面申請(qǐng)了,,在轉(zhuǎn)子上做了深入的研究,日立公司早期也做過(guò)螺桿泵方面的研究,。
螺桿真空泵是通過(guò)泵腔內(nèi)一對(duì)作等速反向旋轉(zhuǎn)螺桿的作用,,吸入并排出被抽氣體而形成高真空。泵的結(jié)構(gòu)如圖所示,,螺桿輪廓型線是由阿基米德螺旋線和擺線曲線及圓弧等構(gòu)成,。在螺桿旋轉(zhuǎn)時(shí),兩個(gè)螺桿之間,、螺桿和泵體之間都保持一定的間隙且互不接觸,,因而運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)泵的摩擦損失很小,摩擦消耗功率,,且可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn),,被抽氣體被平順地壓送到排氣口并排至泵外。通過(guò)泵兩側(cè)的密封機(jī)構(gòu)---齒輪箱內(nèi)的潤(rùn)滑油無(wú)法進(jìn)入泵的吸氣腔內(nèi),。泵與電機(jī)均為臥式結(jié)構(gòu),,泵采用聯(lián)軸器與電機(jī)直聯(lián),整機(jī)安裝在同一機(jī)架上,。為了減少泵的排氣噪聲,,泵的排氣口裝有。雙級(jí)變頻真空泵
螺桿式真空泵的結(jié)構(gòu) 螺桿式真空泵一般是雙螺桿結(jié)構(gòu),。螺桿式真空泵是通過(guò)一對(duì)非對(duì)稱(chēng)螺桿轉(zhuǎn)子,,在泵腔中作同步,、高速反向運(yùn)轉(zhuǎn),,雙級(jí)變頻真空泵電話,,周期性改變齒間容積而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,。
螺桿式真空泵在結(jié)構(gòu)上比較簡(jiǎn)單。形式上,湖南雙級(jí)變頻真空泵,,螺桿式真空泵有臥式和立式之分;依據(jù)螺桿轉(zhuǎn)子型線的不同又可分為單頭螺桿式真空泵與多頭螺桿式真空泵,;單頭螺桿式真空泵根據(jù)轉(zhuǎn)子螺距的不同,,可分為等螺距螺桿式真空泵與變螺距螺桿式真空泵,變螺距中又可細(xì)分為一段式,、兩段式,、三段式等。
雙級(jí)變頻真空泵
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