化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (cvd) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行,，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用---之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間,。
干泵選擇
cvd 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：
粉末
許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下,，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能---粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構(gòu)。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程,，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵,，以---泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。
冷凝
半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體,，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時,，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔�,。在泵送這些副產(chǎn)品時,， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵,。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物,。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，愛德華真空泵rv12,，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面,。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要---可以 將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風(fēng)險,。我們的泵設(shè)計 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率,。對于某些 cvd 制程，需要在溫度設(shè)上 達到平衡,，以---避免任何冷凝問題,， 同時不使腐蝕速度過高。
淪分子泵是一套速,、超真空的裝置,，它的旋轉(zhuǎn)速度---90000rpm1500轉(zhuǎn)／秒，形成的超真空度可以低到5x10-10pa以下十億分之二個---壓,，并且它設(shè)計緊湊,，體積小，愛德華真空泵,，重量輕,。主要有兩個系列：stp和ext，主要區(qū)別是ext系列的回轉(zhuǎn)軸承是陶瓷的,，而stp系列的回轉(zhuǎn)軸承是用磁性材料制成的,。
五,、羅茲泵
edwards在早推出高抽速的羅茨泵，edwards愛德華真空泵,，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h,，---真空10-3mbar。在低真空中有---的抽氣率,，常串油式或干式泵使用
六,、真空計
愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar，內(nèi)設(shè)---的微處理器控制,；
渦旋真空泵的主要性能表征參數(shù)
5.1.1間隙大小
間隙包括軸向間隙和徑向間隙,。由于軸向間隙只是由設(shè)計精度、加工精度和
裝配精度進行控制的,，也比較容易控制,，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以
由式((2.11)計算得到,，即
e二,，*r，-2* a * r.-r (5.1)
5.1.2抽氣速率
理論抽氣速率sth是由泵的幾何尺寸,、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一
個反映抽氣性能的參數(shù),，也叫幾何抽速。假設(shè)轉(zhuǎn)速為n(轉(zhuǎn)/秒),，并且該禍旋泵
為雙側(cè)渦旋,，那么sth可表達為下式:
s1，=2仇,、---ol卜(5.2)
其中vii,，愛德華真空泵維修， vo;分別為轉(zhuǎn)子和定子所形成的外層完整內(nèi)壓縮腔和外層完整外壓
縮腔的容積,。,、
實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄
漏,，其實際抽速s要低于理論抽速sth,，設(shè)p:為吸入口壓力，p:為排氣口壓力,，
q,。為總泄漏，則〔10)
s*pl=sw*p,，司t
則實際抽速為
g
j=j*一下了
r,，
(5.3)
5.1.3---壓力
渦旋式無油真空泵的---壓力是指不進入氣體長期運轉(zhuǎn)，在測試罩內(nèi)所能達
到的穩(wěn)定時的低壓力,，用p,。表示,。此時泵的實際抽速s=o，令式((5.3)中的實際
抽速s=o,，即可得---壓力〔10)
(5.4)
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