高純---氣高壓低溫冷凝,、吸附法是一種------的純化技能，該技能工藝?yán)暇�,，被廣泛應(yīng)用在高純度高純---氣的提純工藝中,。高純氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源和出產(chǎn)高純水的試的劑,；干氧化與四---碳混合用于等離子體蝕刻,。應(yīng)留意高純氧氣的安全，并應(yīng)做好防震,，防火,，耐熱和防油等作業(yè)。高純氧氣能夠促進(jìn)燃燒,。應(yīng)將其保存在陰涼處,。禁止觸摸煙的花和宜燃材料。請(qǐng)勿在氧氣計(jì)的螺旋形嘴上放油,。

3依據(jù)燃?xì)庠O(shè)備的散布情況,，高純?nèi)細(xì)夤芫W(wǎng)不宜過大或過長(zhǎng)，宜選用不封閉的環(huán)狀管道，在系統(tǒng)結(jié)束接連排放少量燃?xì)�,，�?biāo)準(zhǔn)氣體批發(fā),，使管網(wǎng)中一直有高純度氣體循環(huán)，不會(huì)因“死區(qū)”而構(gòu)成高純度氣體污染,。4應(yīng)減少不流動(dòng)氣體在管道中的“死區(qū)”,，且不應(yīng)是盲管，在儲(chǔ)氣罐和氣體設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃閥控制設(shè)備和控制設(shè)備,，用于控制吹掃閥的開關(guān)次序和系統(tǒng),，co標(biāo)準(zhǔn)氣體，以---供氣系統(tǒng)的安全,，---運(yùn)轉(zhuǎn),，防止“死區(qū)”停留污染物構(gòu)成，降低氣體純度,。