油擴(kuò)散泵在真空鍍膜機(jī)中的作用

油擴(kuò)散泵：機(jī)械泵的-真空只有10-2帕,，當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候，實(shí)際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話,，必須采用油擴(kuò)散泵,。

油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕，真空鍍膜價(jià)格,，它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的,，它具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便,，抽速大等特點(diǎn),。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴,、導(dǎo)流管和加熱器組成,，里面主要添加擴(kuò)散泵油日本的型號(hào)是d-704#，根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級(jí)泵和多級(jí)泵,。

擴(kuò)散泵底部內(nèi)儲(chǔ)存有擴(kuò)散泵油,，真空鍍膜報(bào)價(jià)，上部為進(jìn)氣口,，右側(cè)旁下部為出氣口,，在工作時(shí)出氣口由機(jī)械泵提供前置壓強(qiáng)，機(jī)械泵充當(dāng)前置泵,。

當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時(shí),，產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強(qiáng)，機(jī)械泵充當(dāng)前置泵,。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí),，產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的1-10-1帕的真空,，故油蒸汽可噴出一段距離,，構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,，凝結(jié)為液體,，流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),，重復(fù)循環(huán)來實(shí)現(xiàn)抽氣的,。

由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子，一旦落入蒸汽流中,，真空鍍膜多少錢,，便獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量，向下飛去,，由于射流具有高的流速約200米/秒,，高的蒸汽密度,，且擴(kuò)散泵油具有高的分子量300-500故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界面內(nèi),，氣體分子不可能長期滯留,，且在射流界面的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差,，正是因?yàn)檫@個(gè)濃度差被抽氣體能不斷的越過界面,，擴(kuò)散進(jìn)入射流中，真空鍍膜,，被帶往出口處,，在出口處再由機(jī)械泵抽走。

擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵的-真空的重要因素,，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油,，其化學(xué)特性要好。

由于油擴(kuò)散泵是無法有返油的幾率,，那么沒有辦法-精密產(chǎn)品的100％純凈,，-是半導(dǎo)體行業(yè)，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機(jī)械泵”所組成的無油真空系統(tǒng),，冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率-,，而且有效-真空腔的清潔，-產(chǎn)品的避免產(chǎn)品被污染,、增強(qiáng)膜層與基板之間的附著力,，但是其維護(hù)成本非常的高，造價(jià)昂貴,，所以普及率沒有油擴(kuò)散泵廣泛,。

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真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇

正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣，因而,，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。另外,，有的真空泵不能在-壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于-壓,，需要前級(jí)泵,，故都需要把泵組合起來使用。

正確地選擇真空泵的工作點(diǎn),。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如：2bv系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmhg~25mmhg(絕壓)，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmhg。因而,，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,，而不能讓它在25~30mmhg下長期工作。

真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外,。

真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的-真空及工作壓強(qiáng)要求,。如：某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度，選用的真空泵的-真空度至少要2mmhg,，1好能達(dá)到1mmhg,。通常選擇泵的-真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

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