-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展,，-質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國(guó)的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的-質(zhì)譜檢涮儀,，廣泛應(yīng)用丁航空航天,，電力電子,，汽車等各個(gè)行業(yè)，綜觀較新-質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn),，-質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度,、自動(dòng)化,、寬程、等方向發(fā)展,，這些特點(diǎn)-地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,，也-的推動(dòng)了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成,。其中質(zhì)譜管包括離子源，分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵,、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束,，以一定能量注入質(zhì)分析器,，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離,。

離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)分析器所選定的-離子流并加以放大,，再通過比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,，同時(shí)完成被檢件的抽空和-氣的引入,。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵,、電磁閥和真空計(jì)組成組成,。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種,。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的-質(zhì)譜檢漏儀,，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到,，因而具有較高的靈敏度,，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,，被檢件只與低真空相通,，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，-氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,，因此被廣泛采用，已成為市場(chǎng)的主流的產(chǎn)品,。

機(jī)械泵的工作方式不一樣,，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出，污染工作環(huán)境,，干泵沒有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒有影響,。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

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-質(zhì)譜檢測(cè)儀的標(biāo)準(zhǔn)器選擇

北京科儀真空技術(shù)有限公司生產(chǎn)-質(zhì)譜檢漏儀，汽車空調(diào)檢漏設(shè)備,，今天科儀的小編就大家來分享一下-質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,，希望對(duì)大家有所幫助！

標(biāo)準(zhǔn)器 采 用 滲 - 型 標(biāo) 準(zhǔn) 漏 孔,，漏 率 標(biāo) 稱 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) pa·m3 /s,，不確定度不大于 10% 。

精密玻璃溫度計(jì),，測(cè)量范圍(0 ～ 50) ℃ ,，不確定度 u = 0. 04℃ ，k = 2,。

-氣檢漏的基本功能部分功能可選配

1,、對(duì)被檢工件充注高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗(yàn)；

2,、對(duì)被檢工件抽真空,；

3、對(duì)被檢工件充注-氣,；

4,、真空箱法-質(zhì)譜檢測(cè)，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格,；

5,、回收并循環(huán)使用-氣；

6,、如果-氣浪費(fèi)-,，可以將使用過程中濃度不合格的-氣進(jìn)行提純

7、plc控制,，觸摸屏操作,，自動(dòng)檢測(cè)。

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