1便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。
2高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可-數(shù)百帕左右,，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。
3自動化程度高：自動校準(zhǔn)-峰,，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn),，量程自動轉(zhuǎn)換,，自動數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī)。-質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能,，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程,。
4全無油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果,，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件,。
5檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,，范圍很寬，不僅可檢測-氣,，而且能檢測其它氣體,。
-質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快,、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于壓力容器,、航空航天、原子能,、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中,，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對其-還會危及檢漏儀的使用壽命,。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,，掌握和了解-質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。
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-質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離,。檢漏儀主要由質(zhì)譜室,、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,，當(dāng)真空度p1 優(yōu)于200 pa 時,，打開入口閥1、2,，關(guān)閉抽空閥,，-氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,，當(dāng)p1降至20 pa 時,，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開,，分子泵的高抽速用于抽空試件,，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 pa·m3/s,。
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1新的儀器對空氣和殘余氣體的讀數(shù)是零,，僅對示蹤氣體有響應(yīng)。2新的儀器本身也是一個抽速較高的真空系統(tǒng),。3儀表的指示能夠反映出漏孔的大小,， 漏量的大小。這三點(diǎn)要求實際上構(gòu)成了研制新型檢漏儀器的準(zhǔn)則,。在研制過程中,， 對傳統(tǒng)的檢漏方法、光譜儀和皮喇尼規(guī)進(jìn)行了考察,。發(fā)現(xiàn)在實際運(yùn)用中都存在著不少的缺點(diǎn),。當(dāng)時，明尼蘇達(dá)州州立大學(xué)的尼爾博士正在研制一種可以記錄分子量和原子量大小的質(zhì)譜儀,。經(jīng)過分析,， 雅可比認(rèn)為如果尼爾博士能夠使儀器簡化， 那么質(zhì)譜儀將是一種好的選擇性檢漏裝置,。當(dāng)時還論證了新型檢漏裝置的示蹤氣體必須滿足三個要求1系統(tǒng)的殘余氣體的質(zhì)潛中沒有它的譜線,。即便儀器處于-環(huán)境，這種氣體在儀器中也幾乎不存在,。2能夠在試驗狀態(tài)下很容易地把它從系統(tǒng)中抽出,， 所用的示蹤氣體不會污染系統(tǒng)。3分子量低,、粘度低,、購置方便,。顯然，-氣是滿足這三個要求的理想的氣體,。
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