半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代電子工業(yè)的主要部分,,而超純氧氣則是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的關(guān)鍵原料之一。
在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)流程中,,超純氧氣主要用于氧化,、光刻、蝕刻等多個(gè)關(guān)鍵步驟,。
在熱氧化工藝中,,高純氧氣與硅片反應(yīng),生成高的二氧化硅層,,作為絕緣層或保護(hù)層,,對芯片的性能和穩(wěn)定性-。在光刻過程中,超純氧氣參與化學(xué)反應(yīng),,幫助形成電路圖案,。而在蝕刻環(huán)節(jié),高純氧氣作為蝕刻氣體,,與刻蝕劑共同作用于芯片表面,,準(zhǔn)確去除多余材料,-電路結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性,。
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超純氧氣無色無味-氣體,,化學(xué)性質(zhì)很不活潑,,未形成任何化合物。今天來帶大家簡單了解一下超純氧氣的特點(diǎn)及用途,。
冶金工業(yè) 在煉鋼過程中吹以超純氧氣,,氧便和碳及磷、硫,、硅等起氧化反應(yīng),,這不但降低了鋼的含碳量,信陽超純氧氣,,還有利于清除磷,、硫、硅等雜質(zhì),。而且氧化過程中產(chǎn)生的熱量-維持煉鋼過程所需的溫度,,因此,吹氧不但縮短了冶煉時(shí)間,,超純氧氣純度高,同時(shí)提高了鋼的,。高爐煉鐵時(shí),,提高鼓風(fēng)中的氧濃度可以降焦比,提高產(chǎn)量,。在有色金屬冶煉中,,采用富氧也可以縮短冶煉時(shí)間提高產(chǎn)量。
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