-質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展

經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的努力,，今天的-質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形,。

集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：

1便攜式：近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。

2高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可-數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。

3自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)-峰,，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,，汽車空調(diào)檢漏回收系統(tǒng),，菜單的選擇功能,，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。

4全無(wú)油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件,。

5檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，范圍很寬,，不僅可檢測(cè)-氣,，而且能檢測(cè)其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),，不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同,，分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速,。

例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)-達(dá)到此目的,，且提高檢漏靈敏度,。

另外，逆擴(kuò)散檢漏方式,，實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏,，也為正壓吸檢漏提供了-的條件。

-質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng)

檢漏儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度,，正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間不大于3s,。筆者實(shí)測(cè)時(shí)，在漏點(diǎn)處噴射-氣5～10s后,，檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),，對(duì)于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏,。

檢漏時(shí)噴在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,，該時(shí)間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴-的較小間隔時(shí)間,，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。筆者根據(jù)實(shí)測(cè)經(jīng)驗(yàn),，兩次噴-的較小間隔時(shí)間控制在30s左右,，即如果次噴-后30s內(nèi)檢漏儀還沒(méi)有反應(yīng)，則可進(jìn)行第二次噴-,。

清除時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同,，但由于儀器零件對(duì)-的吸附和脫附作用的影響,，清除時(shí)間一般要更長(zhǎng)些。筆者-,，在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-9p a ?m3/s的微漏漏點(diǎn)時(shí),，清除時(shí)間約須1分鐘；在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-8p a ? m3/s的中漏漏點(diǎn)時(shí),，清除時(shí)間約須2分鐘,；在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-7pa?m3/s的大漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間在3分鐘左右,。

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