特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 pocl3 和 o2,，減反射層 pecvd 工藝用到 sih4,、nh3,，刻蝕工藝用到 cf4,；特種氣體分類(lèi)：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體,，工業(yè)特種氣體,，對(duì)于不同類(lèi)別的氣體,，純度指標(biāo)不同,，大多用于-規(guī)模集成電路及分離器 件,、光電子等-領(lǐng)域；特種氣體的重要性：正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大,，應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn),。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與-性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“-”,。
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的-產(chǎn)業(yè),，由于所用氣體的品種多、要求高,，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,，特種氣體，人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體,。有氣體倉(cāng)庫(kù)貯存,。氣瓶倉(cāng)庫(kù)應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔,， 避免陽(yáng)光直射,， 氣瓶庫(kù)應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣， 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如,、,、有毒等) 。 特種氣體(spe-ltygases) 氣體工業(yè)名詞,，是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,，對(duì)氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣,。
特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門(mén)類(lèi),，特種氣體廠，是隨著近年來(lái)工業(yè),、科學(xué)研究,、自動(dòng) 化技術(shù)、精密檢測(cè)，特種氣體價(jià)格,，-是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的,。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：高壓容器內(nèi)，存有內(nèi)容物時(shí),，無(wú)論內(nèi)容量多少,，在該容器儲(chǔ)存場(chǎng)地2m內(nèi)，嚴(yán)禁明火或放置燃,、可燃物,。場(chǎng)所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和-性,。由于電子氣體用途多，用量大,。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和-性,，
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