300d三源有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

主要用途：

-適合opv/鈣鈦礦/無(wú)機(jī)薄膜太陽(yáng)能電池,、半導(dǎo)體、有機(jī)el,、oled顯示研究與開(kāi)發(fā)領(lǐng)域,。

系統(tǒng)組成:

主要由真空室系統(tǒng)蒸發(fā)室、蒸發(fā)源系統(tǒng),、樣品臺(tái)系統(tǒng)、 真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、控制系統(tǒng),、膜厚測(cè)試 系統(tǒng)、電控系統(tǒng)組成,。

技術(shù)指標(biāo)：

---真空度6.7×10-5pa,，系統(tǒng)漏率：1×10-7pal/s； 恢復(fù)真空時(shí)間：40分鐘可達(dá)6.6×10 pa短時(shí)間暴露 -并充干燥氮?dú)夂箝_(kāi)始抽氣

樣品臺(tái)：尺寸為4英寸平面樣品,；

蒸發(fā)源：3套

4套擋板系統(tǒng)：擋板共有3套,，動(dòng)密封手動(dòng)控制；

氣路系統(tǒng):流量控制器1路

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測(cè)量范圍0-999999?

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)

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鈣鈦礦鍍膜機(jī)的特點(diǎn)有哪些,？

1,、樣品位于真空室上方，蒸發(fā)源位于真空室下方,，向上蒸發(fā)鍍膜,，且蒸發(fā)源帶有擋板裝置。

2,、設(shè)有烘烤加熱功能,，可在鍍膜過(guò)程中加熱樣品，汕頭鈣鈦礦鍍膜設(shè)備,，烘烤加熱溫度為≤180℃,。

3、設(shè)有斷水,、斷電連鎖保護(hù)報(bào)警裝置及防誤操作保護(hù)報(bào)警裝置,。

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