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接觸光刻技術(shù)中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實際掩模的尺寸相同,。i在襯底上形成的圖案是1∶1，并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式-i光線,；另一方面,，縮微技術(shù)中使用的掩模具有表面特征圖案的實際尺寸,。i在襯底上形成的圖案的幾次通過光學(xué)系統(tǒng)投影模式-i光明。

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光繪絲印網(wǎng)版規(guī)格漲縮-原因1,、溫度的危害在空氣濕度下,，光繪絲印網(wǎng)版的規(guī)格隨之溫度的升高而漲大，溫度降低而變小,，其熱漲形變指數(shù)在18ppm/℃上下,，換句-當溫度產(chǎn)生1℃的轉(zhuǎn)變時，50cm長的絲印網(wǎng)版會產(chǎn)生9um的轉(zhuǎn)變(或20寸中的0.36mil).2,、環(huán)境濕度的危害在相對性溫度下,，絲印網(wǎng)版的規(guī)格隨之環(huán)境濕度的升高而漲大，空氣濕度的減少而變小,，濕漲形變指數(shù)在10ppm/%rh右,，換句-當環(huán)境濕度度產(chǎn)生1℃的轉(zhuǎn)變時，50cm長的絲印網(wǎng)版會產(chǎn)生5um的轉(zhuǎn)變(或20寸中的0.20mil).3,、膠卷在光繪前沒有歷經(jīng)預(yù)設(shè)因為膠卷生產(chǎn)制造時沒-先-膠卷中的環(huán)境濕度與每一裝配車間的環(huán)境濕度相同,，因而應(yīng)用以前應(yīng)先使其與辦公環(huán)境超過均衡的情況。-預(yù)設(shè)時間為12鐘頭,，預(yù)設(shè)時務(wù)必開啟膠卷的包裝，使其與外部的氣體充足觸碰,。