光刻膠必須滿足幾個(gè)硬性指標(biāo)要求：高靈敏度,，高對(duì)比度,，好的蝕刻阻抗性,，高分辨力，易于處理,，高純度,，長(zhǎng)壽命周期，低溶解度,，低成本和比較高的玻璃化轉(zhuǎn)換溫度tg,。主要的兩個(gè)性能是靈敏度和分辨力,。
感光膠的主要成分是樹(shù)脂或基體材料、感光化合物以及可控制光刻膠機(jī)械性能并使其保持液體狀態(tài)的溶劑,。樹(shù)脂在---過(guò)程中改變分子結(jié)構(gòu),。感光化合物控制樹(shù)脂定相的化學(xué)反應(yīng)速度。溶劑使得膠能在圓片上旋轉(zhuǎn)擦敷并形成薄瞙,。沒(méi)有感光化合物的光刻膠稱為單成分膠或單成分系統(tǒng),，有一種感光劑的情形下，稱為二成分系統(tǒng),。因?yàn)槿軇┖推渌砑游锊慌c膠的感光反應(yīng)發(fā)生直接關(guān)系,，它們不計(jì)入膠的成分。
在---過(guò)程中,，正性膠通過(guò)感光化學(xué)反應(yīng),，切斷樹(shù)脂聚合體主鏈和從鏈之間的聯(lián)系，達(dá)到削弱聚合體的目的,，所以---后的光刻膠在隨后顯影處理中溶解度升高,。---后的光刻膠溶解速度幾乎是未---的光刻膠溶解速度的10倍。而負(fù)性膠,，在感光反應(yīng)過(guò)程中主鏈的隨機(jī)十字鏈接更為緊密,，并且從鏈下墜物增長(zhǎng)，所以聚合體的溶解度降低,。見(jiàn)正性膠在---區(qū)間顯影,，玻璃光刻膠廠家，負(fù)性膠則相反,。負(fù)性膠由于---區(qū)間得到保留,，玻璃光刻膠，漫射形成的輪廓使顯---的圖像為上寬下窄的圖像,，而正性膠相反,，為下寬上窄的圖像。
樹(shù)脂:光刻樹(shù)脂是一種惰性的聚合物基質(zhì) ,，是用來(lái)將其他材料聚合在一-起的粘合劑。 光刻膠的粘附性,、膠膜厚度等都是樹(shù)脂給的,。
感光劑:感光劑是光刻膠的-部分，他對(duì)光形式的輻射能,，-在紫外區(qū)會(huì)發(fā)生反應(yīng),。---時(shí)間,、光源所發(fā)射光線的強(qiáng)，度都根據(jù)感光劑的特性選擇決定的,。
溶劑:光刻膠中容量較大的成分,，感光劑和添加劑都是固體物質(zhì)，為了方便均勻的涂覆,，要將他們加入溶劑進(jìn)行溶解,，玻璃光刻膠生產(chǎn)廠家，形成液態(tài)物質(zhì),，并且使之具有-的流動(dòng)性,，玻璃光刻膠供應(yīng)商，可以通過(guò)選擇方式涂布在waf er表面,。
添加劑:用以改變光刻膠的某些特性,，如---光刻膠發(fā)生反射而添加染色劑。
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劃分光刻膠的一個(gè)基本的類別是它的極性。光刻膠在---之后,，被浸入顯影溶液中,。在顯影過(guò)程中，正性光刻膠曝過(guò)光的區(qū)域溶解得要快得多,。理想情況下,，未---的區(qū)域保持不變。負(fù)性光刻膠正好相反,，在顯影劑中未---的區(qū)域?qū)⑷芙�,，�?--的區(qū)域被保留。正性膠的分辨力往往是較好的,，因此在ic制造中的應(yīng)用更為普及,，但mems系統(tǒng)中，由于加工要求相對(duì)較低,，光刻膠需求量大,，負(fù)性膠仍有應(yīng)用市場(chǎng)。
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