公司產品包括石英掩膜版,,蘇打掩膜版,,以及菲林版,。蘇州制版根據客戶的構想,、草圖,,定制版圖,,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務,!
光刻是制造半導體器件和集成電路微圖形結構的關鍵工藝,。其工藝直接影響著器件成品率、---性,、器件性能以及使用壽命等參數指標,。光罩是光刻工藝中的一個重要環(huán)節(jié),光刻版必須非常潔凈,,所有硅片上的電路元件都來自版圖,。如果光刻版不潔凈,存在污染顆粒,,這些顆粒就會被到硅片表面的光刻膠上,,玻璃板,造成器件性能的下降,。
光刻英語:photolithography是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,,該步驟利用---和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結構,然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉移到所在襯底上,。這里所說的襯底不僅包含硅晶圓,,還可以是其他金屬層、介質層,,例如玻璃,、sos中的藍寶石。
集成電路英語:integrated circuit,,縮寫:ic,;德語:integrierter schaltkreis、或稱微電路microcircuit,、微芯片microchip,、晶片/芯片chip在電子學中是一種把電路主要包括半導體設備,也包括被動組件等小型化的方式,,并時常制造在半導體晶圓表面上,。前述將電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜thin-film集成電路,。另有一種厚膜thick-film集成電路hybrid integrated circuit是由獨立半導體設備和被動組件,集成到襯底或線路板所構成的小型化電路,。
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在刻畫時,采用步進機刻畫(stepper),,其中有電子束和激光之分,,激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫,邊緣起點5mm,,與電子束相比,其弧形更逼真,,線寬與間距更小,。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有稱為中間掩膜,,reticle作為單位譯為光柵),,用步進機重復將比例縮小到master maks上,應用到實際---中的為工作掩膜(working mask),,工作掩膜由master mask復
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