公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,,光罩,,蘇打掩膜版,,以及菲林版,。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想,、草圖,,定制版圖,,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù),!
使用無掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式------波長405nm,,照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,,使該區(qū)域的光刻膠通常為正膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)
經(jīng)過顯影、定---,,---區(qū)域的光刻膠溶解脫落,,暴露出下面的鉻層
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掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板,。例如,,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,,通過類似照相制版的方法制備而成,。具有微納圖形結(jié)構(gòu)的掩模板通常使用電子束光刻機(jī)直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,,包括金屬各層沉積,、涂膠、電子束光刻,、顯影,、鉻層腐蝕及去膠等過程。
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光刻掩模版通常用石英玻璃做為化學(xué)反應(yīng),,選用方解石是因為其的近紫外線穿透率,。掩模版遮光一部分用cr,因此有時候也叫鉻板,。選用燈的g線應(yīng)i線,,在于你常用的光刻膠,每個光刻膠產(chǎn)品介紹都是列舉其所比較敏感的納米段,。
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