沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——脈沖激光沉積供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?/p>
【設(shè)備主要用途】
pld450a型脈沖激光沉積設(shè)備采用pld脈沖激光沉積技術(shù),，用于制備高溫超導(dǎo)薄膜,、半導(dǎo)體膜、鐵電薄膜,、硬質(zhì)薄膜以及微電子和光電子用多元氧化物薄膜及異質(zhì)結(jié),，也可用于制備氮、碳,、硅化合物及各種有機(jī)—無機(jī)復(fù)合材料薄膜及金剛石薄膜等,。
【設(shè)備優(yōu)點(diǎn)】
設(shè)備全程采用一鍵式操作抽氣，關(guān)機(jī),，程序自動(dòng)化定時(shí)操作,。避免了繁瑣的角閥，插板閥人工開啟,。
【設(shè)備主要組成】
設(shè)備由沉積腔室單室球形或圓筒形,、樣品加熱轉(zhuǎn)臺(tái)、激光入射轉(zhuǎn)靶,、激光窗,、電源控制系統(tǒng)、激光束掃描系統(tǒng),、計(jì)算機(jī)控制轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn),、脈沖準(zhǔn)分子激光器等組成
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1. 易獲得期望化學(xué)計(jì)量比的多組分薄膜,，即具有-的保成分性；
2. 沉積速率高,，試驗(yàn)周期短,，襯底溫度要求低，制備的薄膜均勻；
3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),，對(duì)靶材的種類沒有---,；
4. 發(fā)展?jié)摿?，具有-的兼容性,；
5. 便于清潔處理,，激光脈沖沉積設(shè)備價(jià)格，可以制備多種薄膜材料,。
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