光刻膠的性能

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光刻膠產(chǎn)品種類多、---性強(qiáng),，玻璃光刻膠生產(chǎn)廠家,，是典型的技術(shù)密集型行業(yè)。不同用途的光刻膠---光源,、反應(yīng)機(jī)理,、制造工藝、成膜特性,、加工圖形線路的精度等性能要求不同,，導(dǎo)致對于材料的感光性能、溶解性,、耐蝕刻性,、耐熱性等要求不同。因此每一類光刻膠使用的原料在化學(xué)結(jié)構(gòu),、性能上都比較特殊,，要求使用不同品質(zhì)等級的光刻膠---化學(xué)品。

如何選購光刻膠,？

光刻加工工藝中為了圖形轉(zhuǎn)移,，輻照必須作用在光刻膠上，通過改變光刻膠材料的性質(zhì),，使得在完成光刻工藝后,，光刻版圖形被在圓片的表面。而加工前,，如何選用光刻膠在很大程度上已經(jīng)決定了光刻的精度,。盡管正性膠的分辨力是的，但實(shí)際應(yīng)用中由于加工類型,、加工要求,、加工成本的考慮，需要對光刻膠進(jìn)行合理的選擇,。

劃分光刻膠的一個(gè)基本的類別是它的極性,。光刻膠在---之后,，被浸入顯影溶液中。在顯影過程中,，正性光刻膠曝過光的區(qū)域溶解得要快得多,。理想情況下，未---的區(qū)域保持不變,。負(fù)性光刻膠正好相反,，在顯影劑中未---的區(qū)域?qū)⑷芙猓��?--的區(qū)域被保留,。正性膠的分辨力往往是的,，因此在ic制造中的應(yīng)用更為普及，光刻膠生產(chǎn)廠家,，但mems系統(tǒng)中,，由于加工要求相對較低，光刻膠需求量大,，負(fù)性膠仍有應(yīng)用市場,。