公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,,蘇打掩膜版,,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想,、草圖,,定制版圖,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù),!
在刻畫時(shí),,采用步進(jìn)機(jī)刻畫(stepper),其中有電子束和激光之分,,激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫,,邊緣起點(diǎn)5mm,與電子束相比,,其弧形更逼真,,線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,,也有稱為中間掩膜,,reticle作為單位譯為光柵),用步進(jìn)機(jī)重復(fù)將比例縮小到master maks上,,應(yīng)用到實(shí)際---中的為工作掩膜(working mask),,工作掩膜由master mask復(fù)
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,,蘇打掩膜版,,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想,、草圖,,定制版圖,玻璃板,,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù),!
目前全球范圍內(nèi)光刻掩膜版主要以生產(chǎn)商為主。由于下游應(yīng)用領(lǐng)域廠商自建光刻掩膜版生產(chǎn)線的投入產(chǎn)出比很低,,且光刻掩膜版行業(yè)具有一定的技術(shù)壁壘,,所以光刻掩膜版都是由-生產(chǎn)商進(jìn)行生產(chǎn)。
公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,,蘇打掩膜版,,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想,、草圖,,定制版圖,蘇州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服務(wù),!
掩膜版是對(duì)勻膠鉻版經(jīng)過(guò)光繪加工后的產(chǎn)品,。勻膠鉻版光掩膜基版由玻璃基板、鉻層,、氧化鉻層和光刻膠層構(gòu)成的,。通過(guò)光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版,。
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