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分子泵在半導體機械設備中的運用
在半導體材料生產(chǎn)加工加工工藝中，分子泵廣泛運用于光刻技術,、塑料薄膜堆積機器設備、離子注入機器設備,、離子注入機等主要設備,。安捷倫 tv301分子泵維修
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光刻技術是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的關鍵機器設備，生產(chǎn)制造和維護保養(yǎng)必須高寬比的電子光學和電子工業(yè)基本，全僅有數(shù)生產(chǎn)廠家把握，因而光刻機價格價格昂貴,。光刻技術光刻技術全過程務必在高真空中完成,，緣故是極紫外線很嬌氣,，在空氣中非常容易耗損,。另外，在光刻技術全過程中,，機器設備的姿勢時間誤差以皮秒激光計，這對磁懸浮分子泵的震動值規(guī)定---,。注：皮秒激光=兆分之一秒安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵特點
油潤滑分子泵：潤滑油脂量小,，且在前面機械泵段,，對真空設備空氣污染小。
脂潤滑分子泵：油脂量不大,，前相互配合比干泵可獲得相近無油真空泵的清除機械泵,。
全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起運用,，可獲得無油真空泵的清除真空泵,。安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵是應用高速運行的轉(zhuǎn)子把角動量傳輸給氣體分子式,，安捷倫 tv301分子泵維修,，使之獲得定項速度，從而被變小,、被驅(qū)向排氣口后為前邊抽走的一種真空泵,。安捷倫 tv301分子泵維修
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分子泵啟動的條件：
,、啟動條件：連接無誤,、無漏、冷卻,、潤滑,、真空度
、啟動時間：
同時啟動——小系統(tǒng),，防前級泵油上返,。
---啟動——系統(tǒng)容積過大，先啟動前級泵,，至系統(tǒng)壓強p=200pa時，啟動分子泵,。
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傳動膠帶不用時，應把膠帶拆下，用溫水清洗擦干后保存在沒有陽光直接照射的地方,，也不要存放在有油污,、腐蝕物及煙霧的地方。無論在何種情況下,，都不要使膠帶沾上機油,、柴油或等油類物質(zhì)，不要對膠帶涂松香和其他粘性的物質(zhì),。膠帶在使用前,，須清除膠帶接觸面的。
把所有螺釘,、螺栓用鋼絲刷刷洗干凈,，并涂上機油或浸在柴油中保存。
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