半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)---技術(shù)解決方案,，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全水平,，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放,、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的---擁有成本要求,。

所有居于---的制程工具 oem,，以及每一家主要半導(dǎo)體工廠(chǎng)都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M(mǎn)足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求,。提供干式真空泵,、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn),。 平版印刷平版印刷即晶圓的圖案形成是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟,。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (euv) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵,。edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用,。

euv 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值,， 但以后可能需要使用 euv 平版印刷,，愛(ài)德華真空泵維修gv250，因?yàn)檩p型 euv 系統(tǒng) 提供極短的波長(zhǎng),。要讓您的系統(tǒng)具有 性能,，愛(ài)德華真空泵維修gv600，真空環(huán)境是關(guān)鍵,。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要,，它有助于延長(zhǎng)維修間隔。我們 與 euv 平版印刷 oem 和光源 oem 合作開(kāi)發(fā)了 精密真空系統(tǒng),，可為您進(jìn)行的大型投資提供 ---性,。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于---系統(tǒng)的精密性 和長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間---,。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (tmp) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)真空,。我們的 stp 系列 tmp 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長(zhǎng) 維修間隔。目前開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品通過(guò)將控制器集成到 泵本身中來(lái)降低總成本和占地面積,，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜,。

真空泵是一種較為精密的機(jī)械設(shè)備，用戶(hù)在使用過(guò)程中,，真空泵抽真---免出現(xiàn)抽氣量不足或者真空度不高的現(xiàn)象,，引起這些現(xiàn)象的原因是很多的。

真空泵真空度降低該怎么辦,？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴(yán),，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過(guò)大;水環(huán)溫度過(guò)高(一般不應(yīng)超過(guò)40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調(diào)整間隙(一般應(yīng)為0.15～0.2mm);增加水量并降低進(jìn)水溫度。