成都超邁光電科技有限公司為您提供復合磁控濺射鍍膜機,。設備主要由真空腔體,、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng),、濺射系統(tǒng)、過渡倉,、磁力機械手,、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),，可根據客戶使用需求定制。
真空腔體：φ650x700雙層水冷,；可根據實際需求定制
真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統(tǒng),；
真空抽速：1600l/s，進口全量程復合真空計,，全金屬防爆真空規(guī),；
磁控靶組件：4個矩形靶，3個圓形靶,，根據客戶實際需要匹配中頻,、射頻、脈沖直流濺射電源,；
離子源：1套線性離子源,，匹配---電源；
氣路：4路反應氣體,，進口流量計,，1路毛細保護氣路；
烘烤溫度：300℃,，不銹鋼鎧裝加熱器,，可拆卸快裝結構；
工件盤：導軌多工位行星工件盤2套,，工件盤裝夾移動小車一輛,；
控制系統(tǒng)：西門子plc+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機
     聯系時請說明是在云商網上看到的此信息，謝謝,！
     聯系電話：13981907896,，13981907896，歡迎您的來電咨詢！
     本頁網址：http://gaojuwu.com/cp/38429078.html
     推薦關鍵詞： PVD真空鍍膜, DIY真空鍍膜, CVD真空鍍膜, 晶體生長設備, 等離子刻蝕設備