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無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響,換言之,,即人,、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動,、擴(kuò)散受到氣流的支配,。
無塵車間系利用hepa、ulpa過濾空氣,,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,,這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散,即無法保持潔凈空間,,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外,。
無塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間,,此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域,,易受人,、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一之影響而保持潔凈度,、但因風(fēng)速的提高,,將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時,,能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),,以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,,均一氣流之保持亦為一重要因素,,均一氣流若無法保持,表示風(fēng)速有異,,是在壁面,,氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難,。
無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異,。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,,而0.5m/s之速度,,氣流則較均一,目般潔凈室,,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響潔凈室的氣流因素很多,,如制程設(shè)備,、人員、潔凈室組裝材,、照明器具等,,同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素,。
一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),,應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),,而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至�,,此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,,良率也勢必降低,。
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