因此將廢氣以一般風(fēng)車(chē)抽至---排放至---環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作站,，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體,，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)-有---性作用有害人體,，故必須經(jīng)過(guò)水洗中和處理,，再由風(fēng)機(jī)排入---。

排氣：其主要來(lái)源于涂膠,、顯影工序和各工序使用清洗過(guò)程時(shí)所產(chǎn)生,，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入---,。

管道,、管件的可拆卸接口和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)應(yīng)安裝在便于操作的位置，不銹鋼風(fēng)管加工,，不得安裝在墻壁或地板上;與風(fēng)管連接的氣閥部件應(yīng)單獨(dú)支撐和固定,。防火擋板的易熔片應(yīng)安裝在迎風(fēng)一側(cè);防火門(mén)與墻體之間的距離不得超過(guò)200mm。風(fēng)管板和法蘭外形應(yīng)符合規(guī)范和設(shè)計(jì)要求,。

吊裝管線時(shí),，嚴(yán)禁在管線上上下移動(dòng);同時(shí)，不銹鋼風(fēng)管法蘭,，管道內(nèi),、上表面不得有重物，以防高空墜落物-,，管道不得承受荷載,。