因此將廢氣以一般風(fēng)車(chē)抽至---排放至---環(huán)境而不需處理,。酸堿性排氣：其主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體,，此氣體部分含有濃煙,，部分則對(duì)---有---性作用有害人體，故必須經(jīng)過(guò)水洗中和處理,，再由風(fēng)機(jī)排入---,。

排氣：其主要來(lái)源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過(guò)程時(shí)所產(chǎn)生,，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入---,。

一般情況下使用鍍鋅鐵管,，通風(fēng)管道廠家，有腐蝕性及---潮濕的場(chǎng)所使用不銹鋼管,。當(dāng)周?chē)�環(huán)境空氣濕度較大時(shí),，通風(fēng)管道安裝，風(fēng)道外壁需做防腐蝕,、防銹處理,。對(duì)輸送高溫、高濕氣體的風(fēng)道內(nèi)壁宜噴刷磷化底漆或其他耐蝕涂料,。在風(fēng)道輸送高溫氣體或低溫空氣時(shí),，風(fēng)道外壁應(yīng)做保溫(保冷)處理下。

   輸送高溫氣體風(fēng)管的保溫目的,，一是防止管道內(nèi)空氣的熱損失(出現(xiàn)在冬季集中空調(diào)系統(tǒng));另外是防止在輸送廢熱蒸汽或高溫氣體時(shí)阻止熱量散發(fā)到房間內(nèi)而使室溫升高,，又可防止人接觸風(fēng)道而被。