化學(xué)清洗和安全知識(shí)
1 化學(xué)清洗
在半導(dǎo)體器件工藝實(shí)驗(yàn)中,。化學(xué)清洗是指去除吸附在半導(dǎo)體,、金屬材料和器具表面的各種有害雜質(zhì)或油漬,。清洗方法是利用各種化學(xué)試劑和有機(jī)助熔劑,使吸附在被清洗物體表面的雜質(zhì)和油類發(fā)生化學(xué)反應(yīng)溶解,,或輔以超聲波,、加熱、真空等物理措施,,將雜質(zhì)除去,。從要清潔的物體。表面解吸或解吸,,然后用大量高純冷熱去離子水沖洗,,得到干凈的表面。
1.1 化學(xué)清洗的重要性
工藝實(shí)驗(yàn)中的每個(gè)實(shí)驗(yàn)都有化學(xué)清洗的問(wèn)題,�,;瘜W(xué)清洗的對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果有---影響。如果過(guò)程處理不當(dāng),,將得不到實(shí)驗(yàn)結(jié)果或?qū)嶒?yàn)結(jié)果很差,。因此,了解化學(xué)清洗的作用和原理對(duì)工藝實(shí)驗(yàn)具有重要意義,。眾所周知,,半導(dǎo)體的重要特性之一是對(duì)雜質(zhì)非常敏感。只要有百萬(wàn)分之一甚至少量的雜質(zhì),就會(huì)對(duì)半導(dǎo)體的物理性能產(chǎn)生影響,。方法,。各種功能半導(dǎo)體器件的制造。但也正是因?yàn)檫@個(gè)特點(diǎn),,給半導(dǎo)體器件的工藝實(shí)驗(yàn)帶來(lái)了麻煩和困難,。用于清潔的化學(xué)試劑、生產(chǎn)工具和水可能成為有害雜質(zhì)的來(lái)源,。即使是干凈的半導(dǎo)體晶圓更長(zhǎng)時(shí)間暴露在空氣中也會(huì)引入明顯的污染物,。化學(xué)清洗是去除有害雜質(zhì),,保持硅片表面清潔,。
不銹鋼工件經(jīng)酸洗和水沖洗后
可用含10%(分?jǐn)?shù))naoh+4%(分?jǐn)?shù))kmno4的堿1生---鹽溶液在71~82℃中浸泡5~60min,以去除酸洗殘?jiān)�,,然后用水沖洗,,并進(jìn)行干燥。不銹鋼表面經(jīng)酸洗鈍化后出現(xiàn)花斑或污斑,,氧清洗,,可用新鮮鈍化液或較高濃度的擦洗而消掉。至終酸洗鈍化的不銹鋼設(shè)備或部件應(yīng)注意保護(hù),,可用聚乙烯薄膜覆蓋或包扎,,避免異金屬與非金屬接觸。
對(duì)酸性與鈍化廢液的處理,,氧氣設(shè)備清洗,,應(yīng)符合排放規(guī)定。如對(duì)含氟廢水可加石灰乳或氯化鈣處理,。鈍化液盡可能不用---酸鹽,,如有含鉻廢水,可加還原處理,。
酸洗可能引起馬氏體不銹鋼氫脆,,如需要可通過(guò)熱處理去氧(加熱至200℃保溫一段時(shí)間)。
6.不銹鋼酸洗鈍化檢驗(yàn)
由于化學(xué)檢驗(yàn)會(huì)破壞產(chǎn)品的鈍化膜,,通常在樣板上進(jìn)行檢驗(yàn),。方法舉例如下:
(1)---銅滴定檢驗(yàn)
用8gcus04+500mlh20+2~3mlh2s04溶液滴入樣板表面,保持濕態(tài),,如6min內(nèi)不出現(xiàn)銅的析出為合格,。
(2)高鐵滴定檢驗(yàn)
用2mlhcl+1mlh2s04+1gk3fe(cn)6+97mlh20溶液滴在樣板表面,通過(guò)生成藍(lán)點(diǎn)的多少及出現(xiàn)時(shí)間的長(zhǎng)短來(lái)鑒定鈍化膜的好壞,。
在水的不時(shí)循環(huán)中,,把預(yù)先核算好數(shù)量的堿洗劑分批參與暫時(shí)系統(tǒng)的配液箱中
當(dāng)堿濃度和ph值抵達(dá)預(yù)定目的后連續(xù)加藥,鷹潭清洗,并繼續(xù)循環(huán)清洗至預(yù)定時(shí)間,。
2.3 水沖刷
堿洗完畢后把堿液排放干凈,再用清水沖刷,,以盡可能高的速度沖刷至出口水的ph值小于9,。然后將排水口,不銹鋼清洗,,加水至清洗系統(tǒng)滿水位,,并按前述辦法將水加熱至預(yù)定溫度。
2.41 酸洗
維
持爐內(nèi)水的溫度于預(yù)定溫度,,并繼續(xù)堅(jiān)持清洗系統(tǒng)內(nèi)的水不時(shí)循環(huán),。向清洗系統(tǒng)中參與預(yù)先核算好數(shù)量的緩蝕劑,待整個(gè)系統(tǒng)中緩蝕劑分布平均后,,向系統(tǒng)中參與預(yù)
先核算好數(shù)量的酸,。加酸速度應(yīng)遲緩,---是以碳酸鹽水垢為主的鍋爐,,加酸后會(huì)有很多---氣體送出,,加酸速度更不能太快。加酸的一同,,要從清洗系統(tǒng)的出
口處開端取樣剖析酸的濃度和鐵離子濃度,,普通每隔10~15
min取樣剖析一次。當(dāng)酸加完后,,繼續(xù)循環(huán)或浸泡數(shù)小時(shí),,并每隔20~30min取樣剖析一次。當(dāng)發(fā)現(xiàn)酸濃度降落到和垢的反響速度顯著減緩時(shí),,應(yīng)及時(shí)補(bǔ)償酸,。判別酸洗完畢是經(jīng)過(guò)剖析酸的濃度、fen,、fe***離子濃度等,。當(dāng)酸濃度在2~3h內(nèi)安穩(wěn)不變, fen離子濃度濃度上升到---值并開端降落,,即以為酸洗曾經(jīng)結(jié)束判別酸洗完畢的另一個(gè)直接而又牢靠的辦法是經(jīng)過(guò)監(jiān)視管---清洗的水平,,來(lái)招認(rèn)鍋爐被清洗的狀況。假定監(jiān)視管的垢與鍋爐的垢及清洗條件基本一同,,那么當(dāng)監(jiān)視管段被清洗干凈的時(shí)分,,也就能夠以為鍋爐被清洗干凈。
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